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〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地
酸化膜、TEOS膜、SiN膜、金属膜(W, Ti/TiN, Al, Cu)、レジスト、ポリシリコン膜など様々な膜を付けたシリコンウェハーを取り扱っております。 シリコンウェハーへの成膜方法はPE-CVD(プラズマCVD)、LP-CVD(減圧CVD)といったCVD法に加え、スパッタリングやEB蒸着も行っております。 |
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膜付シリコンウェハーの例 ・φ4インチ:Ti/Al膜 膜厚500nm ・φ6インチ:SiN膜 膜厚500nm ・φ8インチ:TEOS膜 膜厚500nm ・φ12インチ:酸化膜 膜厚500nm など 上記仕様は一例です。 それ以外の成膜仕様でも、お気軽にご相談ください。 |
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