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ヤマナカヒューテック株式会社は高純度電子材料、シリコンウェハー、MEMSファンドリーサービス、蒸着材料(光学薄膜材料)、機能性材料等を多角的に取り扱う研究開発型企業です。

TEL. 075-721-5555

〒606-0804 京都市左京区下鴨松原町29番地

サービス/製品一覧SERVICE & PRODUCTS

サービス/製品一覧

MEMS受託加工サービス/MEMS材料

「MEMS材料/MEMS受託加工サービス」

MEMSファンドリーサービスを提供する他、弊社独自のMEMS用基板(Y'sウェハー)等のMEMS材料を販売しています。
ファンドリーサービスでは半導体・センサ・プロセス技術を応用したMEMSデバイス受託加工に対応しております。

MEMS材料/受託加工サービスとコーティング事業の専用ページはこちら


シリコンウェハー関連

「シリコンウェハー&ウェハー関連サービス」

プライムウェハーや熱酸化膜付ウェハーなど各種の基板販売からシリコンウェハーへの加工まで承っております。
加工では、お客様ご支給のシリコンウェハーに再生加工、B/G加工、成膜、ダイシングなど様々な加工サービスを提供いたします。

「シリコン・ガラスウェハー販売事業部」の専用ページはこちら



CVD材料・ALD材料・拡散材料

「CVD材料・ALD材料・拡散材料 等」

半導体製造プロセスで使用されるCVD材料、拡散材料及び光ファイバー材料等を製造販売しております。
TEOS製造では国内トップクラスの生産設備を持ち、世界各地の半導体メーカーへ安定供給しております。

TEOS/HMDS/HMDSO/POCl3/BBr3/SiCl4/4MS(テトラメチルシラン)等


PVDプロセス材料&パーツ

「PVD材料&パーツ」

光学薄膜・機能性薄膜の形成に用いられるPVDプロセスのための蒸着材料・光学薄膜材料、スパッタリングターゲット及びプロセス周辺部材・消耗品などを幅広く販売しております。

真空蒸着材料(光学薄膜材料)/スパッタリングターゲット/高融点材料パーツ/膜厚測定パーツ/その他



高純度金属材料金属化合物材料

「高純度金属材料(GaCl3, Ga2O3等)」

希少金属でもあるGa系材料などの塩化物・酸化物をはじめ、あらゆる金属錯体をお客様のニーズに合った形で提供できる様、日々取り組んでおります。










バナースペース

ヤマナカヒューテック株式会社

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FAX 075-721-5549