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コーティングMEMSコラム

矢野経済研究所「Yano E Plus」2022年9月号にて、当社が紹介

2023.01.11 [事業責任者から]

<事業責任者より>
矢野経済研究所「Yano E Plus」2022年9月号にて、当社が紹介


Yano E plus 2022年9月号(No.174)(矢野経済研究所発行),pp.60-63に当社MEMS受託加工サービスが紹介されました。


https://www.yano.co.jp/eplus/


Yano E Plus 2022年9月号 表紙


以下、目次より

 ≪注目市場フォーカス≫

MEMS技術シリーズ(4)~ファウンドリ~ (42~72ページ)

~サプライチェーンの多様化が不可欠な現代

 プロセスの一貫性を維持、生産能力を分配/シフトすることが可能~


1.MEMS/ファウンドリーとは

2.MEMS/ファウンドリーの特長と優位性

3.MEMS/ファウンドリーに関する市場規模推移と予測

 【図・表1.MEMS/ファウンドリーの国内およびWW市場規模推移と予測(金額:2020-2025年予測)】

4.MEMS/ファウンドリーに関連する企業・研究機関の取組動向


~中略~


4-5.ヤマナカヒューテック株式会社(pp.60-63)

(1)MEMS受託加工サービス事業の経緯

  【図23.マイクロ化学チップの構造(左)と実物写真(右)】

(2) MEMS事業の特長

 ①「研究開発型」企業としての製品・サービス開発力

 ②ワンストップで問題解決

(3)MEMS技術

 ①リソグラフィー

  【図24.露光パターニング例。全体イメージ(左)、ハニカムパターン(中)、ラインパターン(右)】

 ②エッチング

  【図25. エッチング加工例。石英ピラー加工(左)、Si DRIE加工(中)、石英段差形成加工(右)】

 ③成膜

 ④その他加工

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