成膜関連［PZT単結晶薄膜形成サービス］

PZT単結晶薄膜形成サービス

成膜品のご提供、ご支給基板への成膜両方可能になります。
成膜されたPZT薄膜は単結晶となっており、低い誘電率を持ちながら高い圧電性や変位におけるリニアリティー、温度特性を実現しております。

高いc軸配向性を持ち、誘電率を140以下まで下げる事で、歪みによる出力電荷量を向上させた仕様。圧電効果の利用に合わせた設計をしています。

高いd定数と耐電圧を持ちながら、誘電率を下げてバランスを取った仕様。
逆圧電効果の利用に合わせた設計をしています。

インクジェットヘッド、ジャイロセンサ、加速度センサ、超音波センサ、MEMSミラー、圧力センサ、温湿度センサ、赤外線センサ、RF-MEMS、圧電スピーカ、圧電マイク、マイクロポンプ、オートフォーカス、等

※その他、既にPZT薄膜形成設備をお持ちのユーザ様でも、その設備を有効活用頂ける様、下部電極までの成膜形成のみでも柔軟に対応させて頂きます。

インクジェットヘッド、MEMSミラー、圧力センサ、温湿度センサ、赤外線センサ、RF-MEMS、圧電スピーカ、圧電マイク、マイクロポンプ、オートフォーカス、等

※厚膜で高耐久性のPZT膜の形成が可能です。