フォトリソ関連

• レジスト塗布

  特長・加工能力

  レジスト厚：0.35μm～100μm（ポジ）・1μm～500μm（ネガ）

  • ※ポリイミドやSU-8等の永久レジストも対応可能
  • ※低粘度～高粘度（6000Pc）まで幅広く対応可能
  • ※その他、コーティングのみでも対応いたします。
    （レジスト、PI、シリコーン樹脂、等）

  対応インチサイズ

  φ2～φ12インチ

  • ※寸法により角型も対応可

• マスクアライナー

  特長・加工能力

  最小線幅：片面 3μm～／両面 5μm～

  • ※位置合わせ精度：±5μm～

  対応インチサイズ

  φ2～φ12インチ

  • ※寸法により角型も対応可

• ｉ線ステッパー

  特長・加工能力

  最小線幅：0.5μm～

  対応インチサイズ

  φ2～φ8インチ

• KrFスキャニング
  ステッパー

  特長・加工能力

  最小線幅：80nm～

  対応インチサイズ

  φ8インチ

• EB描画

  特長・加工能力

  線幅50nm実績あり（φ50nmピラー、φ300nmホール 等）

  対応インチサイズ

  φ3、φ6、φ8インチ

※基材例：シリコン、ガラス、セラミックス、化合物系、SiC、サファイア、圧電系（LT、LN）、等