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ボイド検査装置(浜松ホトニクス製) 特別販売のお知らせ

この度、Y’sテクノセンターではボイド検査装置を特別販売いたします。

近赤外に感度のある高分解能、高感度、高S/Nを特徴とする浜松ホトニクス製の赤外線カメラを用いたボイド検査装置です。
SOI(Silicon on Insulator)等の貼合せウェハー内部のボイドやキズ等の欠陥観察が可能です。
近赤外の光源は2台あります。ファイバーで近赤外光を導いてウェハー裏面から照らし、ボイド有無を赤外線カメラで検出します。
ウェハーホルダーは、４インチ、5インチ、6インチが使えます。

なお、購入検討の際は当社クリーンルーム内でのデモ測定が可能です。 販売希望価格は250万円（税別）です。
ご興味ございましたらお気軽に弊社HPよりお問い合わせください。